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真空泵是一種用于從密閉容器中移除氣體分子,從而在容器內(nèi)產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境的設(shè)備。簡(jiǎn)單說,它就是用來“抽空氣"的機(jī)器。
真空泵的工作原理主要基于兩大方式:
傳輸泵(Transfer Pumps):通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)或氣流,將氣體分子從泵的入口壓縮并傳輸?shù)匠隹冢罱K排到大氣中。這是最常見的一類泵。
正位移泵(Positive Displacement):通過周期性地?cái)U(kuò)大和縮小泵腔的體積來吸入、捕獲和排出氣體。例如旋片泵、活塞泵、螺桿泵。
動(dòng)量傳輸泵(Momentum Transfer):通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速蒸汽流,將動(dòng)量傳遞給氣體分子,使其向出口方向運(yùn)動(dòng)。例如渦輪分子泵、擴(kuò)散泵。
捕集泵(Entrapment Pumps):通過物理或化學(xué)方式將氣體分子吸附、冷凝或電離固定在泵內(nèi)的表面上,而不是將它們排出泵外。例如低溫泵、濺射離子泵、吸氣劑泵。這類泵通常能
極限真空(Ultimate Vacuum):泵在空載、干燥、清潔的條件下,入口處所能達(dá)到力。單位常用 Pa(帕斯卡)、mbar(毫巴)、Torr(托)或 psi。
抽氣速率(Pumping Speed):在特定入口壓力下,單位時(shí)間內(nèi)泵能從容器中抽走的氣體體積。單位常用 m3/h(立方米每小時(shí))、L/s(升每秒)、CFM(立方英尺每分鐘)。
啟動(dòng)壓力(Starting Pressure):泵可以正常開始工作的最高入口壓力。有些泵(如分子泵)不能從大氣壓開始工作,需要前級(jí)泵預(yù)抽。
| KBS 80 - 50 x 65 |
| SDN 510 GSP P11248 |
| 9243 |
| KINAX WT707-214DB140 |
| SINEAX P530 -421112311 Input:24000/100V 150/1A 50Hz Range:0-6450 KW Output:4-20mA PS:85-230VAC/DC |
| SINEAX P530 -411322311 Input:380V 5A 50Hz Range:0-3300W Output:4-20mA PS:85-230VAC/DC |
| PRO-CON 12R |
| 50/60HZ IP65 In:400V/1.63A Out:230v/2.83A+-2.5% Drawing:G 02103 04 A01 |
| 226.01-5,5 |
| SXE9573-Z70-81-33N |
| Gelenkstangenkopf DIN 648 GAXSW 35 - M36x2 Ma?reihe K |
| Gelenkstangenkopf DIN 648 GAXSW 30 - M 27x2 Ma?reihe K |
| NrE01717VA |
| TYPE:K1 ID-Nr.200066 |
| 6799G06,00-61 |
| 6799G12,00-60 |
| 11000125;Drehkopf DK6-P (Auslaufprodukt) |
| 573/18 1.5mm |
| 1141-1110-0101 |
| NO.0035 147 3.000 W, 230 V |
| H22-0050-1002C3 |
| 113-030-0035 |
| 6562 |
| ROHRHEIZKOERPER MIT SR 6kW 403C600/31/3X3R 230/400V Nr.11710 |
| SV1-10/16/315/6 |
| SV1-10/32/315/6 |
| Typ J-1,5 mm-1000 mm(HT0519) |
| Typ J-1,5 mm-300 mm(HT0519) |
| Typ J-1,5 mm-1400 mm(HT0521) |
| Typ J-1,5 mm-500 mm(HT0521) |
| 40T-48-4-00-RR-0200 |
| D633-313B |
| 7000-40341-2340300 |
| PAS44SBD0200A1BAxxxS / 4 XX X YY X |
| 8554406.8441.02400 |
| Kettenrad 12B-1, Z?hnezahl = 24;(1642 - 24, 2024050) |
| SZ 50-16/2-5,5C IE2,159188021802 Ersatz fuer 2011005383 |
| TG40-20/22285 |
| 12.7mm*5m*0.10mm Stainless steel gasket |
| 572113(replace for 074152) |
| 77213 |
| SP-009-2-WR017-21-1-Z02 |
| KS90-104-0000E-000 |
| 9700142811 |
| ZA9020FS |
根據(jù)能達(dá)到的真空度,通常分為粗/低真空、中真空、高真空和超高真空泵。
| 類型 | 工作原理 | 真空范圍 (Pa) | 特點(diǎn)與應(yīng)用 |
|---|---|---|---|
| 旋片泵(Rotary Vane Pump) | 正位移。偏心轉(zhuǎn)子帶動(dòng)旋片在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn),將氣體吸入、壓縮并排出。 | 10? ~ 10?1 (粗/低真空) | 的前級(jí)泵(Backing Pump)。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,耐用。需使用真空泵油密封和潤(rùn)滑。廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、制冷維修、包裝等。 |
| 螺桿泵(Dry Screw Pump) | 正位移。兩根嚙合的螺桿在泵腔內(nèi)反向旋轉(zhuǎn),將氣體從一端推向另一端。 | 10? ~ 10?2 (粗/低真空) | 干式泵(無油),可處理含有少量可凝性蒸汽的氣體,不易被污染。是半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)前級(jí)泵。 |
| 渦旋泵(Scroll Pump) | 正位移。一個(gè)靜止的和一個(gè) Orbiting 的渦旋盤相互嚙合,形成月牙形的密閉空間來壓縮氣體。 | 10? ~ 10?1 (粗/低真空) | 干式泵,運(yùn)行平穩(wěn)安靜,振動(dòng)小。常用于潔凈的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境、分析儀器、作為分子泵的前級(jí)泵。 |
| 羅茨泵(Roots Pump) | 正位移。兩個(gè)“8"字形轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn),高速地將氣體從入口輸送到出口。 | 103 ~ 10?2 (中真空) | 抽速極大,但壓縮比低,不能單獨(dú)使用,必須配合前級(jí)泵(如旋片泵)串聯(lián)工作,組成機(jī)組,以在中等真空范圍內(nèi)獲得大抽速。用于冶金、化工、鍍膜等。 |
| 渦輪分子泵(Turbomolecular Pump) | 動(dòng)量傳輸。高速旋轉(zhuǎn)的葉片(可達(dá)數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘)撞擊氣體分子,使其定向運(yùn)動(dòng)。 | 10?1 ~ 10?? (高/超高真空) | 潔凈的干式泵,能獲得真空。需要前級(jí)泵輔助。對(duì)振動(dòng)和沖擊敏感。是科研、半導(dǎo)體制造、表面科學(xué)等領(lǐng)域獲得高真空的核心設(shè)備。 |
| 低溫泵(Cryopump) | 捕集泵。利用極低溫(約20K以下)的冷板,將氣體分子冷凝、吸附和捕集起來。 | 10?2 ~ 10?1? (高/超高真空) | 潔凈的干式泵,抽速極大,是現(xiàn)有抽速最高的真空泵。需要前級(jí)泵和粗抽泵。廣泛應(yīng)用于需要快速獲得潔凈超高真空的領(lǐng)域,如粒子加速器、太空模擬艙、半導(dǎo)體鍍膜。 |
油泵 vs 干泵:
油封式泵(如旋片泵):使用油作為密封和潤(rùn)滑介質(zhì),價(jià)格相對(duì)便宜,但存在油蒸氣返流污染真空腔體的風(fēng)險(xiǎn),且需要定期更換真空泵油。
干式泵(如螺桿泵、渦旋泵、分子泵):泵腔內(nèi)無油,能提供潔凈的真空環(huán)境,維護(hù)需求較低,但通常價(jià)格更高。
泵的組合使用:
很多高真空泵(如分子泵、擴(kuò)散泵)不能直接對(duì)抗大氣壓,必須串聯(lián)一個(gè)“前級(jí)泵"(如旋片泵、干泵)先將系統(tǒng)抽到中低真空,然后高真空泵才能啟動(dòng)。
這種組合稱為“泵組"或“機(jī)組"。
維護(hù):
油泵:定期檢查并更換真空泵油是保持其性能和壽命的關(guān)鍵。如果抽除了水蒸氣或其他化學(xué)氣體,油的更換周期需要縮短。
過濾器:在泵的入口處加裝灰塵過濾器或微粒過濾器,可以防止雜質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)造成損壞。在出口處加裝油霧過濾器可以減少油霧排放到環(huán)境中。
干泵:定期清潔泵腔,防止腐蝕和粉末堆積。
德國(guó)進(jìn)口wetravent 真空泵WT601_22H
德國(guó)進(jìn)口wetravent 真空泵WT601_22H
真空泵的應(yīng)用極其廣泛,幾乎遍布所有工業(yè)和高科技領(lǐng)域:
工業(yè):真空包裝、真空吸吊、真空脫氣、真空鑄造、真空熱處理、木材干燥。
半導(dǎo)體與電子:芯片制造(CVD, PVD, Etching)、
平板顯示器生產(chǎn)、燈泡制造。
| B50271001T322THN0HAAS |
| 55420D19510 |
| G665Z00000207 |
| 549203003 EL III-20-S-00 |
| 549200060 EL II-20-K-60 |
| Düse RA-1-0.80/4.0 |
| spring D-283B 2.5X12.5 ?5X19 |
| spring D-085D 0,5X3,0X13,4 |
| Spring VD-207L |
| D-069 0.5x5.1x25 |
| D-130 |
| RJ-2 M22x1, Id.-Nr. 200045 |
| UC44PC3S421 (10-30VDC) |
| 8526-6100 |
| Art.-Nr. 03-39 Graugu?sp?ne GG 25 DIN 513 60/2, Zolltarif-Nr.: 72044110 ca. 450g |
| DM110.5.IM.VM |
| 415.01.38 |
| 415.01.50 |
| B-3216061 |
| 5790Z03-032.003;PE-MH/1023 |
| V3.0510-96 |
| 14050.1PZ |
| 14050.2PZ |
| 1500.050.75.0.566,1-1x21.1.1 |
| PY2-C-025 |
| 0-000000-12649 |
| 0-000000-12648 |
| HD1K-020GM010 |
| ASB 4/LED 5-4-328/15 M NO.60619 |
| KLV-43-02400 |
| FW1-015GP006 |
科研:電子顯微鏡、粒子加速器、表面物理實(shí)驗(yàn)、太空環(huán)境模擬。
醫(yī)療:冷凍干燥(制藥)、真空吸引(手術(shù))、放射性藥物生產(chǎn)。
日常生活:空調(diào)和制冷設(shè)備的抽真空和冷媒充注。
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